BS IEC 62047-52:2026 PDF

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 52: Biaxial tensile testing method for stretchable MEMS

Открыть превью (PDF)Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 52: Biaxial tensile testing method for stretchable MEMS

Название (английский):

BS IEC 62047-52:2026

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 52: Biaxial tensile testing method for stretchable MEMS

Статус документа:

Действующий

Формат:

Электронный (PDF)

Дата публикации:

31 марта 2026 г.

ICS:

31.080.99

SKU:

BS IEC 62047-52:2026