BS IEC 62047-30:2017 PDF

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film

Открыть превью (PDF)Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film

Название (английский):

BS IEC 62047-30:2017

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film

Статус документа:

Действующий

Формат:

Электронный (PDF)

Дата публикации:

31 октября 2017 г.

ICS:

31.080.99

SKU:

BS IEC 62047-30:2017