BS EN 62047-14:2012 PDF

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - Forming limit measuring method of metallic film materials

Открыть превью (PDF)Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - Forming limit measuring method of metallic film materials

Название (английский):

BS EN 62047-14:2012

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - Forming limit measuring method of metallic film materials

Статус документа:

Действующий

Формат:

Электронный (PDF)

Дата публикации:

31 мая 2012 г.

ICS:

31.080.99

Технический комитет:

CENELEC

SKU:

BS EN 62047-14:2012