ASTM D5127-13 (2018) PDF

Полное наименование и описание

ASTM D5127-13 (2018) — Standard Guide for Ultra‑Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries. Руководство содержит рекомендации по качеству ультра‑чистой воды (UPW) для производства электронных и полупроводниковых изделий, определяет классификации типов воды и типовые параметры контроля качества на точке распределения (POD).

Аннотация

Руководство описывает семь классификаций ультра‑чистой воды, требования к основным параметрам (резистивность/проводимость, содержание органического углерода (TOC), концентрации ионов и металлов, количество частиц, микробиологические показатели и т. п.), а также рекомендации по месту отбора проб — точке распределения (POD). Документ служит ориентиром для производителей микронных и субмикронных электронных устройств, где загрязнения воды критически влияют на выход продукции и надежность процессов.

Общая информация

• Статус: Активный (действующий стандарт).
• Дата публикации: 15 октября 2018 г. (текущее издание D5127‑13(2018)).
• Организация-издатель: ASTM International (комитет D19, подраздел D19.02).
• ICS / категории: 13.060.25 (Water for industrial use); 71.100.99 (Other products of the chemical industry).
• Редакция / версия: D5127‑13, переиздание/подтверждение 2018 года (обновление/подтверждение редакции, впервые утверждена как D5127 в 2013 г.).
• Количество страниц: 6 страниц.

Область применения

Стандарт применим к системам подготовки, распределения и контроля ультра‑чистой воды в электронной и полупроводниковой промышленности. Он предназначен для использования при проектировании, эксплуатации и валидации систем UPW, а также для определения критериев качества воды на точке распределения, применимых к мойке, полосканию, приготовлению паров и другим технологическим операциям в производстве полупроводников и микроэлектронных компонентов.

Ключевые темы и требования

• Классификация типов ультра‑чистой воды (несколько типов/классов для различных требований по ширине линий и чувствительности процессов).
• Ключевые параметры качества: резистивность/проводимость, содержание общего органического углерода (TOC), ионный состав (катионы/анионы), содержание металлов и кремнезёма, количество частиц по размерным фракциям, биологические загрязнения.
• Требования и рекомендации по месту отбора проб — точке распределения (POD) как контрольной точке для оценки пригодности воды.
• Ссылки на методы контроля и испытаний (например, методики и стандарты для измерения TOC, ионного состава, микробиологии и подсчёта частиц).
• Рекомендации по подбору критериев качества в зависимости от технологических задач (критические и менее критические применения).

Применение и пользователи

Основные пользователи стандарта: инженеры и специалисты по качеству в полупроводниковых и микроэлектронных фабрикациях (fabs), производители оборудования для обработки и распределения UPW, поставщики систем очистки воды, лаборатории контроля качества, а также проектные организации, занимающиеся системами химической воды и валидацией технологических процессов.

Связанные стандарты

В руководстве даны ссылки и рекомендации по использованию совместно с другими стандартами и методиками контроля качества воды, например Specification D1193 (спецификация для лабораторной воды), Guide D5196 и рядом методов мониторинга и измерений (включая тесты на органические и неорганические загрязнения, методы подсчёта частиц и микробиологического контроля).

Ключевые слова

ультра‑чистая вода, UPW, полупроводниковая промышленность, точка распределения (POD), резистивность, TOC, частицы, ионы, микробиологический контроль, очистка воды.

FAQ

В: Что это за стандарт?

О: Руководство ASTM D5127‑13(2018) описывает требования и рекомендации по качеству ультра‑чистой воды, применяемой в электронике и полупроводниковом производстве.

В: Что он регулирует?

О: Он не устанавливает обязательных регламентов, а служит руководством по классификации UPW и по основным параметрам контроля (резистивность, TOC, ионы, металлы, частицы, микробиология) на точке распределения. Рекомендации используются для проектирования, мониторинга и оценки пригодности воды для конкретных технологических процессов.

В: Кто обычно использует?

О: Производственные и инженерные команды фабрик микроэлектроники и полупроводников, поставщики систем очистки и распределения воды, лаборатории контроля качества и специалисты по валидации технологических процессов.

В: Он актуален или заменён?

О: На момент публикации и по данным справочных каталогов текущее издание D5127‑13(2018) отмечено как действующее/активное издание; предыдущая редакция датировалась 2013 годом. Для подтверждения актуальности перед использованием рекомендуется проверять наличие более поздних пересмотров у издателя.

В: Это часть серии?

О: Да. Руководство связано с другими стандартами ASTM и методиками, применяемыми для анализа и спецификаций воды (например, D1193, D5196 и другие тест‑методы по контролю органических, неорганических и микробиологических параметров).

В: Какие ключевые слова?

О: ультра‑чистая вода, UPW, POD, резистивность, TOC, частицы, микробиология, полупроводники, электроника.